日立創新工業科技股份有限公司 台灣分公司

提供高生產率系統，此系統具有能滿足最新工藝要求的最佳特點與性能，將低了生產不合格率，提昇產能，是高速度與高精密度的製圖技術。

理想的ODF真空配置系統是最新開發的先進吸附系統為特點，也降低不良率，有高速高精度描的生產性質。

裝置在台花板上，有效的利用空間，同一個軌道可使以復數的設定機台。

高速低振動的無人搬送機台。

液晶螢幕製造過程所需的高速，低振動的搬送機台。